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功率半導體材料功率半導體芯片功率半導體器件功率半導體模塊

拋光片外延片銅金屬化陶瓷片 DBC覆銅陶瓷板

序號

特征

4吋、5吋、6吋襯底參數

1

摻雜劑

N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus

P,P+:Boron

2

晶向

<100>,<111>,<110>

3

電阻率

0.001～1.0～100～10000Ω?cm

4

電阻率均勻性

≤25%

5

厚度

150～5000μm

6

總厚度變化

≤5um

7

局部平整度

≤1.5um

8

翹曲度/彎度

≤35um

9

氧含量

8.0～18.0ppma

10

碳含量

＜1.0ppma

11

位錯/氧化層錯

＜100ea/cm²

12

滑移線

NONE

13

表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污

NONE

14

背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋

NONE

15

表面顆粒

≥0.2um的≤30um

≥0.5um的≤3um

≥0.3um的≤10um

16

表面金屬

≤5E10

電話:13705597336
電話:13956270581
E-mail:hsdianqi@vip.163.com
傳真：0559-4510020
黃山芯微電子股份有限公司
地址：安徽省黃山市祁門縣新興路449號

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